表面形貌測(cè)量，只為更高精度
在精密制造領(lǐng)域,傳統(tǒng)的只寸測(cè)量已無(wú)法滿(mǎn)足現(xiàn)代工業(yè)對(duì)零件質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。常規(guī)的尺寸檢測(cè)雖然能反映零件的幾何公差,卻難以捕捉表面微觀(guān)形貌對(duì)零件性能的關(guān)鍵影響。
FD形貌測(cè)量?jī)x突破傳統(tǒng)測(cè)量局限,專(zhuān)為高精度零件的微觀(guān)形貌分析而設(shè)計(jì),采用先進(jìn)的接觸式傳感器技術(shù)可精準(zhǔn)測(cè)量納米級(jí)至微米級(jí)的表面特征。
| 型號(hào) | FD | |
| 測(cè)量范圍 | X軸 | 120-220mm |
| X軸分辨率 | 1.2nm | |
| Z軸 | 420、620mm可選 | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm |
| Z1分辨率 | 1.2nm | |
| 輪廓精度 | Z1線(xiàn)性精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
| 圓弧 | 士(1+R/12)μm | |
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | |
| 角度 | ±1′ | |
| 直線(xiàn)度 | 0.3um/100mm(截止波長(zhǎng)0.8) | |
| 驅(qū)動(dòng)速度 | X軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
| Y軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
| 最快測(cè)量速度 | 2mm/s | |
| 大理石尺寸 | 500mm×800mm | |
| 臺(tái)面材質(zhì) | 天然大理石 | |
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