采用波速參數(shù)評(píng)估圓輪廓的波紋度，與行業(yè)主流波紋度控制方式一致，測(cè)量結(jié)果可與行業(yè)主流溯源。
高帶寬、高信噪比的傳感系統(tǒng)，有效測(cè)得圓輪廓的微觀形貌。
“靜享平穩(wěn)”，超強(qiáng)的隔振措施能有效隔離環(huán)境振動(dòng)，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性。
準(zhǔn)靜態(tài)波紋度儀WES系列
產(chǎn)品參數(shù)PRODUCT PARAMETERS
| 項(xiàng)目 | WES1000 | WES2000 | |
| 旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) | 回轉(zhuǎn)精度 | （0.025+6H/10000）μm | |
| 最大測(cè)量直徑 | 80mm | 200mm | |
| 最大檢測(cè)高度 | 60mm | 180mm | |
| 最大回轉(zhuǎn)直徑 | 100mm | 200mm | |
| 垂直軸 | 移動(dòng)方式 | 手動(dòng) | |
| 垂直移動(dòng) | 13mm | 220mm | |
| 水平臂 | 水平移動(dòng) | 13mm | 120mm |
| 水平移動(dòng)方式 | 手動(dòng) | ||
| 檢測(cè)器 | 傳感器量程 | ±500μm、±300μm、±150μm、±75μm（可自由切換） | |
| 傳感器分辨率 | 最高0.001μm | ||
| 圓周采樣點(diǎn)數(shù) | 28800 | ||
| 諧波分析 | 分析波段 | 2/10000 | |
| 線性精度 | 2nm+4% | 3nm+5% | |
| 固有頻率 | 2-3Hz | ||
