超微傳感：0.001μm級分辨率傳感器，精準捕捉納米級表面形貌特征
精密運動：高剛性空氣軸承回轉系統（徑向跳動≤0.05μm），確保測量基準穩定性
抗擾采集：寬頻信號處理能力，實現純凈信號提取
智能隔振：多級隔振系統，有效隔離環境微振動干擾
自動圓柱度諧波分析測量儀FFT-CYA系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 項目 | 參數名稱 | FFT-CYA | FFT-CYA-2 | |
| 諧波分析 | 分析波段 | 1-150upr | 1-512upr | |
| 回轉軸系 | FFT max1 | 0.04μm | 0.04μm | |
| FFT max2 | 0.025μm | 0.025μm | ||
| FFT max3 | 0.015μm | 0.015μm | ||
| 旋轉速度 | 6rpm | 6rpm | ||
| 最大測量直徑 | 300mm | 300mm | ||
| 最大工件直徑 | 450mm | 450mm | ||
| 傳感器 | 傳感器量程范圍 | ±500μm | ±500μm | |
| 傳感器線性精度 | 3nm+5% | 3nm+5% | ||
| 傳感器分辨率 | 0.001μm | 0.001μm | ||
| 水平臂 | 水平移動范圍 | 165mm | 165mm | |
| 水平凸出量 | 25mm | 25mm | ||
| 圓周檢測器 | 圓周采樣點數 | 16384 | 32768 | |
| 圓周分度精度 | 0.6/1000 | 2/10000 | ||
| 減振系統 | 減振方式 | 橡膠減振 | 混合減振（橡膠+氣浮） | |
| 剛性支架 | 方鋼龍骨 | 方鋼龍骨 | ||
