以精密導軌為測量基準,精度更高,應用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項重要指標,殘值噪音決定了測量的基礎精度。
可輕松應對斜面零件、圓弧面零件的測量。
極低的殘值噪音,實現納米級測量
以精密導軌為測量基準,精度更高,應用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項重要指標,殘值噪音決定了測量的基礎精度。
可輕松應對斜面零件、圓弧面零件的測量。
型號 | DR | |
粗糙度精度 | 量程 | ±620μm |
分辨率 | 262144:1 | |
指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) | |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
重復性 | 1δ≤1nm | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
驅動速度 | X軸驅動方式 | 電動 |
Y軸驅動方式 | 電動 |
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